電子與半導體供應鏈廠的化學品環保課：毒化物、揮發性有機物與專責

作者 Bo Wei・偉騰開發興業有限公司・發布 2026-09-03・更新 2026-09-03（由前臺東縣環境保護局局長謝清泉主持）

電子與半導體供應鏈廠的環保風險集中在化學品：酸鹼與溶劑多屬毒化物或關注化學物質，洗淨與塗佈製程排放揮發性有機物與酸鹼廢氣，空污與毒化物兩套許可並行，還要配兩種專責人員。本文把許可、排放標準、專責與紀錄義務排成一張供應鏈廠的合規表。

先講結論：電子與半導體供應鏈廠要同時面對兩套許可。

化學品端依《毒性及關注化學物質管理法》第13條，

1. 第一類至第三類製造、輸入、販賣要許可證、使用貯存要登記文件，
2. 第四類與關注化學物質依第8條、第25條走核可；

排放端依《空氣污染防制法》第24條，指定公告的固定污染源設置或變更前要設置許可證、設置後要操作許可證。兩套時鐘各走各的。

最常見的錯誤直覺是「化學品是供應商的事，我只是用」。

使用與貯存本身就是第3條定義的運作行為，登記文件、標示、運作紀錄與專業技術管理人員的義務落在使用者身上；排放端的揮發性有機物排放標準也不只管石化業，一般製造業的塗裝、清洗依個別行業標準與固定污染源空氣污染物排放標準管制，半導體製造業另有專屬標準。

本文依化學品進廠到排放的順序展開：毒化物與關注化學物質的文件對號、酸鹼與溶劑廢氣的空污許可與排放標準、洗滌塔與防制設備在防制計畫裡怎麼寫、廢溶劑的去向、兩種專責人員的配置與代理，最後是稽查勾稽的三本帳。

偉騰開發興業由前臺東縣環保局長帶領，主持過裁處端的人最清楚許可、紀錄與現場哪一欄對不上就會變裁處；全台各縣市均可受理。

化學品進廠先對號：毒化物四類與關注化學物質的文件

電子廠常用的酸、鹼、有機溶劑與特殊氣體，先查是否列入環境部「列管毒性化學物質及其運作管理事項」或「列管關注化學物質及其運作管理事項」公告，管制濃度與分級運作量都寫在附表。

列入第一類至第三類者，依第13條使用、貯存取得登記文件，運作總量低於分級運作量者依第13條第4項取得核可文件；第四類依第8條第4項核可；關注化學物質依第25條核可，低於分級運作量者不受第35條至第41條限制。

許可登記核可管理辦法第5條規定第一類至第三類貯存達分級運作量，或第四類及具危害性關注化學物質貯存達氣體 50 公斤、液體 100 公斤或固體 200 公斤者，貯存場所不得設於都市計畫住宅區或商業區——設在都市型工業區以外的廠房要先過這一關。

第17條的標示與安全資料表、第9條的逐日運作紀錄與每月 10 日前申報，從進廠第一天就開始計算。未依規定紀錄申報或未標示依第58條處 10 萬元以上 50 萬元以下。

排放端的兩證與排放標準：酸鹼廢氣、揮發性有機物與半導體專屬標準

洗淨、蝕刻、塗佈與顯影製程排放酸鹼廢氣與揮發性有機物，屬《空氣污染防制法》第24條指定公告固定污染源者，設置或變更前檢具空氣污染防制計畫取得設置許可證，設置後取得操作許可證，防制計畫依第26條須經環境工程技師或相關專業技師簽證。

排放標準分三層：揮發性有機物空氣污染管制及排放標準以石化製程為核心，一般製造業的塗裝、清洗依個別行業標準與固定污染源空氣污染物排放標準管制，半導體製造業另有專屬的空氣污染管制及排放標準；設備元件洩漏定義值為淨檢測值 1,000 ppm。

依第23條，公私場所應有效收集污染物並維持防制設施正常運作，最大操作量不得超過防制設施的最大處理容量；指定公告者依第22條設連續自動監測並連線，其餘依規定定期檢測申報。未依許可證內容設置操作依第62條處工商廠場 10 萬元以上 2,000 萬元以下、按次處罰，未取得許可逕行設置或操作依第63條同額並令停工。

洗滌塔與防制計畫：審查端看集氣、去除效率與紀錄三件事

酸鹼廢氣多以濕式洗滌塔處理、揮發性有機物多以吸附或蓄熱式焚化處理，防制計畫要把每一條排放管道對應的製程、設計風量、去除效率與操作參數寫清楚，因為裁罰準則附表一以去除效率或削減率作為污染程度因子之一，未達 50% 落到最高級距。

原物料與燃料用量每日計量記錄、資料保存 6 年，空污費按季申報，每年 1 月、4 月、7 月及 10 月底前申報前一季排放量；申報值以連續自動監測資料、認可自廠係數、檢測結果或公告排放係數、質量平衡依序計算，未申報或產量與原燃料不符者環境部得逕行核定並追溯 5 年。

製程改變要先算門檻：增加污染物種類，或任一污染物推估年排放量較許可量增加達 20% 及 5 公噸以上，屬變更須重走兩證；未達門檻的操作條件改變屬異動，原則異動前申請。設備故障有第89條的免罰三要件：1 小時內報備、24 小時內修復或停止操作、15 日內提出書面報告。

廢溶劑與清洗廢液：貯存、聯單與再利用的去向

電子廠的廢溶劑、廢酸鹼與清洗廢液多屬事業廢棄物，部分經認定為有害事業廢棄物。

依《廢棄物清理法》第31條，指定公告一定規模的事業應檢具事業廢棄物清理計畫書送縣市主管機關審查核准後始得營運，並依規定格式與頻率網路申報產出、貯存、清除、處理、再利用情形；第28條的清理方式包含自行清除處理、共同清除處理、委託許可的公民營清除處理機構，第30條規定委託事業與受託人負連帶清理責任，未盡相當注意義務者並負連帶環境改善責任。

第36條要求貯存、清除、處理方法與設施符合中央主管機關訂定的標準；一般事業廢棄物違規依第52條處 6 千元以上 300 萬元以下，有害事業廢棄物違規依第53條處 6 萬元以上 1,000 萬元以下、按次並得停工停業。

廢溶劑回收再利用另依再利用管理辦法辦理。實務上審查端把毒化物運作紀錄的「廢棄」欄位與廢清書申報的產出量互相勾稽，兩本帳對不上就是深度查核的起點。

兩種專責人員：空污專責與毒化物專業技術管理人員的配置與代理

供應鏈廠常要同時設兩種人。

空氣污染防制專責單位或專責人員設置及管理辦法分甲、乙級，對象與等級依環境部公告條件表，專責單位至少甲級 2 人加乙級 1 人，設置時須同設 1 名以上代理人；離職或異動於事實發生後 15 日內書面報備，代理不得超過 3 個月，期滿前 15 日內完成合格人員核定，應於勞動基準法工作時間內常駐並專職，違反依《空氣污染防制法》第69條處 20 萬元以上 200 萬元以下按次處罰。

毒化物端依第18條設專業技術管理人員，設置及管理辦法第3條以單一物質運作量分甲、乙、丙級，第6條、第7條同樣要求常駐專職且不得兼任環境保護法規以外其他法規所定專責人員；第10條、第11條的離職代理同為 15 日內報備、代理不超過三個月，報准可延長至六個月。

兩套辦法都有「半年內累積超過 30 日未到職不得再設置」的規定。人員名單、訓練證書與到職紀錄要能對上出勤，這是稽查第一天就會要的文件。

稽查勾稽的三本帳：許可量、運作紀錄與庫存

電子廠被裁處的典型路徑不是超標，而是帳對不上。

1. 第一本帳是許可與核可文件上的運作量、排放量與操作參數；
2. 第二本帳是每月 10 日前申報的毒化物運作紀錄與每季的空污費申報；
3. 第三本帳是現場庫存、原物料計量紀錄與廢棄物聯單。

三本帳互相勾稽：運作紀錄的使用量對不上原物料計量，空污費申報就有短報嫌疑，第75條以 2 倍費額計算並追溯 5 年；廢棄欄位對不上廢清書申報，廢棄物線就開始查。稽查依《空氣污染防制法》第48條與毒管法第44條進行，規避、妨礙或拒絕分別依第71條處 20 萬元以上 100 萬元以下、第57條處 30 萬元以上 150 萬元以下並得按次。

裁處前依《行政程序法》提出陳述意見，裁處書送達後訴願自處分達到之次日起 30 日內提起；稽查配合度良好在空污裁罰準則可減輕 0.2，未經檢舉查獲前主動辦理變更或補正可減輕 0.1 至 0.4——先自查三本帳，是最便宜的合規。

自我檢查清單

• 廠內化學品已逐一對照環境部列管毒性化學物質與關注化學物質公告，確認管制濃度與分級運作量
• 第一類至第三類的登記文件、第四類與關注化學物質的核可文件已取得，貯存場所不在住宅區或商業區
• 酸鹼與揮發性有機物排放管道已取得設置與操作許可證，防制計畫載明設計風量與去除效率
• 毒化物運作紀錄每月 10 日前申報、空污費每季申報、原物料每日計量紀錄三本帳可互相對上
• 空污專責人員與毒化物專業技術管理人員的級別、人數、代理報備都在期限內
• 廢溶劑與廢酸鹼的廢清書、聯單與運作紀錄的廢棄欄位一致，有害事業廢棄物貯存符合標準

常見錯誤

• 把化學品當供應商的責任——使用與貯存就是第3條的運作行為，未取得登記或核可依第58條或第59條處罰並限期改善。
• 新增一條清洗線沒算空污門檻——增加污染物種類或年排放量增加達 20% 及 5 公噸以上屬變更，未依許可操作依第62條處工商廠場 10 萬元以上 2,000 萬元以下。
• 毒化物運作紀錄與原物料採購量對不上——空污費短報依第75條以 2 倍費額計算並追溯 5 年，毒化物申報不實另涉第51條刑責。
• 兩種專責人員由同一人兼任——兩套辦法都禁止兼任環境保護法規以外其他法規所定專責人員，且都要求常駐專職，違反分別依第69條與第59條處罰。
• 廢溶劑交給沒有許可的回收商——委託事業與受託人負連帶清理責任，有害事業廢棄物違規依第53條處 6 萬元以上 1,000 萬元以下。

官方參考資料

• 空氣污染防制法（全國法規資料庫）
• 毒性及關注化學物質管理法（全國法規資料庫）
• 揮發性有機物空氣污染管制及排放標準（全國法規資料庫）

常見問題

半導體廠 用的化學品 要辦毒化物許可嗎

先查是否列管。列入第一類至第三類者，使用、貯存依《毒性及關注化學物質管理法》第13條取得登記文件，運作總量低於分級運作量者取得核可文件；第四類依第8條第4項核可、關注化學物質依第25條核可。取得文件後還有標示、安全資料表、逐日運作紀錄與每月 10 日前申報、專業技術管理人員等義務，文件效期五年，期滿前三個月至六個月內展延。

電子廠 洗滌塔 要空污許可嗎

看製程是否屬環境部指定公告的固定污染源。

屬公告對象者，設置或變更前依《空氣污染防制法》第24條取得設置許可證，設置後取得操作許可證，防制計畫須經技師簽證並載明洗滌塔或吸附設備的設計風量與去除效率；未取得許可逕行設置或操作依第63條處工商廠場 10 萬元以上 2,000 萬元以下並令停工。

不在公告內的小型製程仍受第23條有效收集與維持正常運作的拘束。

電子廠 環保專責人員 要幾個

看兩套辦法。

空污端依環境部公告條件表設甲、乙級專責人員，專責單位至少甲級 2 人加乙級 1 人並同設代理人，違反依第69條處 20 萬元以上 200 萬元以下；毒化物端依第18條與設置管理辦法第3條以單一物質運作量分甲、乙、丙級，任一日達分級運作量以上未滿 300 公噸者乙級 1 人以上。

兩者都要常駐專職、不得兼任其他法規的專責人員，離職代理 15 日內報備且不超過三個月。

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